SHIMONO MECHANICAL ENGINEERINGCUSTOM VACUUM SYSTEMS / R&D
その研究のための、
一台をつくる。
研究テーマに合わせた真空装置を設計製造しています。VHF帯超高周波プラズマ対応装置や成膜・実験装置など、大学・研究機関向けの実績があります。
研究・開発用装置のご相談
01
取り組む領域
- VHF帯・超高周波プラズマ対応装置
- プラズマ計測装置・成膜装置・実験装置（Roll to Roll成膜装置ほか）
- 燃料電池セパレータ向け導電性DLC膜形成技術（2014年 NEDO 新エネルギーベンチャー技術革新事業）
装置の対応可否・仕様は、研究テーマと技術要件を確認したうえでご相談させていただきます。個別装置の詳細資料はお問い合わせください。
02
進め方
01
研究目的を伺う
試料、プロセス条件、必要な評価・計測をお聞きします。
02
機構・真空・プラズマ・制御を組み合わせる
チャンバ・機構の設計と、電源・計測・装置制御を一体で検討します。
03
設計から組立・立上げまで
設計から組立・調整・立上げまで一貫して取り組み、装置と一緒にプロセス立上げを支援します。
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