微小な漏れを、確かな検査へ。

自動車業界を中心に、リーク検査装置の累計出荷は50台超（アルミダイキャスト向け33台・車載センサー／半導体パッケージ他19台）。国内22都府県と中国・メキシコ・ベトナムの製造拠点で稼働しています。

最大リーク感度は 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/sec、最小検査サイクルは60秒です。これらは異なる検査条件での性能値であり、同時に成立することを示すものではありません。

• 真空法（JIS Z 2331）準拠のヘリウム漏れ検査。質量分析計方式リークディテクタによる高感度検出
• 作業者による手動投入と自動搬送ラインの切替に対応。生産形態の変化に追従
• 最小検査サイクル60秒。量産ラインのタクトに対応
• チャンバは3サイズ（18.4L／29.5L／84.6L）。小型プレート状ワークから大型ケースまで対応
• 専用ヘリウム回収機との接続で、ヘリウムガス消費量を大幅削減（ヘリウム回収機 HMR）
• マシン・ビジョン・システム（ビジョンアライメント＋コードリーダー）で個別データ管理、生産管理システムと直結可

※チャンバ容積は概算空内容積。マルチチャンバ時の個チャンバ容積は別途お問い合わせください

型式構成（選定の起点）

本体標準仕様（抜粋）

※水素は水素化窒素（N₂ 95%・H₂ 5%）を使用。装置本体とポンプユニット間は600〜1,500 mm。校正器は検査仕様に合わせて製作します。ワーク形状によりシール治具を製作できない場合があります。国内仕様。